工作原理：在傳感器外殼中的流量管振動(dòng)有它的固有頻率。振動(dòng)管由安裝于振動(dòng)管端部的電磁驅(qū)動(dòng)線圈驅(qū)動(dòng)作近似于音叉的振動(dòng)。當(dāng)流體流入流量管時(shí)被強(qiáng)制接受流量管的垂直運(yùn)動(dòng)。在流量管向上振動(dòng)的半個(gè)周期時(shí)，流體反抗管子向上運(yùn)動(dòng)對(duì)其垂直動(dòng)量的增加而對(duì)流量管施加一個(gè)向下的力。反之，流出流量管的流體至流量管施加一個(gè)向上的力以反抗管子向上振動(dòng)而對(duì)其垂直動(dòng)量的減少。這便導(dǎo)致了流量管產(chǎn)生扭曲。在振動(dòng)的另外半個(gè)周期，流量管向下振動(dòng)，扭曲方向則相反。這一扭曲現(xiàn)象被稱(chēng)之為科里奧利（Coriolis）現(xiàn)象。根據(jù)牛頓**定律，流量管扭曲量的大小是完全與流經(jīng)流量管的質(zhì)量流量的大小成正比的。安裝于流量管兩側(cè)的電磁信號(hào)檢測(cè)器用于檢測(cè)振動(dòng)管的振動(dòng)。質(zhì)量流量大小是由這兩個(gè)信號(hào)的相位差來(lái)決定的，當(dāng)沒(méi)有流體流過(guò)流量管時(shí)，流量管不產(chǎn)生扭曲，兩邊電磁信號(hào)檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)是同相位的，當(dāng)有流體互流量管時(shí)產(chǎn)生流量管的扭曲，從而導(dǎo)致丙個(gè)檢測(cè)信號(hào)的相位差，這一相位差直接正比于流過(guò)的質(zhì)量流量。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的產(chǎn)品特點(diǎn)

1、質(zhì)量流量計(jì)可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

2、質(zhì)量流量計(jì)可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累積流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量計(jì)而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。

3、對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)，則一般可以忽略不計(jì)。

4、質(zhì)量流量計(jì)有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品*小流量范圍可達(dá)0～5sccm，**流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿(mǎn)量程的0.1%,流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2～**量程比為50:1,因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。