激光掃描測(cè)徑儀

激光掃描測(cè)徑儀，這也是用得較多的一種，它利用旋轉(zhuǎn)的八面鏡將射來的激光形成掃描帶，掃描帶再掃描被測(cè)物體形成投影，其投影寬度可以通過光電管接收并測(cè)量得來。其主要適合大直徑測(cè)量，據(jù)有精度高的特點(diǎn)，小直徑測(cè)量由于其光斑本身比被物大，且產(chǎn)生干涉衍射現(xiàn)象，不容易較好的測(cè)量。

激光掃描測(cè)徑儀由兩部分構(gòu)成：發(fā)射器和接收器。激光發(fā)光二極管的光通過光學(xué)系統(tǒng)形成了光幕。被測(cè)物體的陰影圖像通過望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)*終形成在線性CCD陣列上。信號(hào)處理器計(jì)算出它的大小。

激光衍射測(cè)徑儀

利用衍射原理測(cè)量細(xì)線的直徑，此技術(shù)與前兩項(xiàng)剛好相反，只適用于測(cè)小直徑的細(xì)絲，而且越細(xì)越好，因?yàn)榇思夹g(shù)是利用衍射原理，理論只有當(dāng)波長(zhǎng)與被測(cè)物相近或大于被測(cè)長(zhǎng)物時(shí)衍射*明顯。目前在測(cè)量5um到300um的細(xì)絲是沒問題的，據(jù)說可以測(cè)量到500um。其精度由于限于標(biāo)準(zhǔn)樣件和測(cè)試環(huán)境的影響，現(xiàn)在只有0.2um左右，但其重復(fù)精度相當(dāng)高，所以只要有標(biāo)準(zhǔn)樣件和良好的測(cè)試環(huán)境，精度是可以再次大提高的，這也是細(xì)絲測(cè)徑儀的一個(gè)發(fā)展方向。

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