一、 粘度選擇原則
選擇油品粘度是真空泵性能的重要因素之一。液體的粘度是液體流動(dòng)的阻力，或者說是液體的內(nèi)摩擦力。粘度越大，各種部件運(yùn)動(dòng)速度的阻力就越大，溫升增高，功率損失大；粘度太小，泵的密封性能變差，引起氣體的泄漏，真空變劣。因此各類真空泵對(duì)油品粘度的選擇極為重要，對(duì)油品粘度選擇的原則是：

1、泵的轉(zhuǎn)速愈高，選擇油品的粘度愈低。
2、泵的轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)線速度愈大，選擇油品的粘度愈低。
3、泵部件的加工精度愈精或摩擦件之間的間隙愈小，選擇油品的粘度愈低。
4、真空泵在高溫工況使用時(shí)，選擇油品的粘度以大為宜。
有冷卻水循環(huán)的真空泵，一般選用粘度較低的油品為宜。
二、推*真空泵油粘度范圍
根據(jù)上述這些原則，對(duì)各類真空泵用油的粘度范圍推*如下：
01、活塞式真空泵（W型）使用一般的機(jī)油即可，用V100、V150粘度等級(jí)的油品。
02、旋片式真空泵（2X型）選用V68、V100粘度等級(jí)油品。
03、直聯(lián)（高速）旋片式真空泵（2XZ型）選用V46、V68粘度等級(jí)油品。
04、滑閥式真空泵（H型）選用V68、V100粘度等級(jí)油品。
05、余擺線真空泵（YZ、YZR）選用V100、V150粘度等級(jí)油品。
06、羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵）齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)的潤(rùn)滑，可選用V32、V46真空泵油。
07、其他類型的真空泵，可根據(jù)其轉(zhuǎn)速、加工精度、極限真空等，選用相對(duì)應(yīng)的油品。
隨著信息科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用層面愈益廣泛,車用及通訊用等電子產(chǎn)品持續(xù)發(fā)展。真空技術(shù)也隨之不斷創(chuàng)新,擴(kuò)展至包括PVD/CVD鍍膜制程、靜電吸附盤及蝕刻制程等設(shè)備,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)己占有舉足輕重的地位。但是半導(dǎo)體工業(yè)在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強(qiáng)氧化劑,因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵及其用油具有非常優(yōu)越的適應(yīng)性。
通常用的真空泵油有兩種:碳?xì)浠衔镉团c全氟聚醚油(PFPE)。碳?xì)浠衔镉蜆O易燃燒,化學(xué)結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定,容易降解,使得潤(rùn)滑性能容易降低,從而易導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)故障。而PFPE由碳、氧、氟原子組成,屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A-1987/DVB、DVD、VDF類油品。該油品中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結(jié)構(gòu)特點(diǎn)決定,具有絕佳的熱穩(wěn)定性、化學(xué)惰性、不燃性。能夠在VF3、PH3、AsH3及其它鹵素化合物(BF3、BC13、PC13、TIC14、SnC14、SIC14)等具有強(qiáng)腐蝕性的環(huán)境中保持穩(wěn)定,甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規(guī)的油品相比,不僅安全,而且使用壽命長(zhǎng)。PFPE可用于有制氧系統(tǒng)和有腐蝕氣體的半導(dǎo)體系統(tǒng)和強(qiáng)輻射的場(chǎng)合,尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過程中有特殊氣體及強(qiáng)腐蝕性化學(xué)物質(zhì)的蝕刻制程和沉淀過程。

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