低溫等離子廢氣處理設備已經(jīng)還廣泛的應用于環(huán)境保護、包裝、紡織、塑料制品、汽車制造、電子設備制造、家電制造、計算機制造、手機制造、生物材料、衛(wèi)生材料、醫(yī)療器皿、殺菌消毒、環(huán)保設備、石油天然氣管道、供暖管道、化工子、半導體、航空航天等行業(yè)中。

該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、效率高、無二次污染等明顯優(yōu)點。

其凈化作用機理包含兩個方面：一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學反應，*終生成無害產(chǎn)物。

低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的健康效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”。

低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發(fā)生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有優(yōu)秀的消毒殺菌之功效。

以上所述顯示，低溫等離子體技術不僅可以凈化空氣，同時還可以消毒殺菌，從而使空氣維持在自然、清新的狀態(tài)。這是其他任何技術方法所無法比擬的。

低溫等離子體凈化技術是近年來發(fā)展起來的另一種廢氣治理新技術。低溫等離子體VOCs凈化技術利用介質放電產(chǎn)生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一系列復雜的化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)橐恍┬》肿拥陌踩镔|，或使有毒有害物質轉變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質。