•測量精度*高達(dá)1.6um •重復(fù)精度*高達(dá)到0.06um •分辨率*高達(dá) 0.02um •一個顯示屏同時支持3個測量頭（業(yè)界*多） •3個測量頭的型號允許不在同一范圍 •直觀顯示激光反射回來的波形 •可調(diào)節(jié)光斑大小，提供激光關(guān)閉模式