高速光學(xué)掃描振鏡系統(tǒng)主要用于激光精密標刻、激光快速成型、激光調(diào)阻、激光切割、激光鉆孔、激光刻線等。可帶載16mm、20mm標準入射光斑的各種波長的鏡片。
高速光學(xué)掃描振鏡系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（所指角度為機械角，所有參數(shù)測定均為一分鐘上電后）
1、伺服驅(qū)動板參數(shù)說明
1.1 電源電壓：±24V±10％（正負電壓絕對值相等）
1.2 模擬信號輸入阻抗：100K±1％Ω（單端輸入）
1.3 位置信號輸出阻抗：1K±1％Ω
1.4 模擬位置信號輸入范圍：±10V／±5V（可選）
1.5 位置信號輸入比例系數(shù)：0.5V／°
1.6位置信號輸出比例系數(shù)：0.5V／°
1.7 工作溫度：25℃±10℃
1.8 驅(qū)動板尺寸：96.9mm（L）＊71mm（W）＊37mm（H）
2.馬達的電氣與機械特性：
2.1 小步長階躍響應(yīng)時間：0.7ms
2.2 線性度：99.9％，范圍±20°
2.3 比例漂移：＜40PPM／℃
2.4 零點漂移：＜10μRad.／℃
2.5 重復(fù)精度：＜8μRad.／℃
2.6 平均工作電流：1.8A
2.7 峰值電流：15A
2.8 *大掃描角度（機械角）：±21°
2.9 工作溫度：25℃±10℃
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